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    電子特種氣體

    鍺烷(GeH4)

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    詳情介紹:

    鍺烷(GeH4)
       
    化學式 GeH4
    中文名稱 鍺烷
    英文名稱 Germanes
    CAS No. 7782-65-2
    分子量 72.64
    充裝系數  
    應用 鍺是一種良好的半導體材料,鍺烷在電子工業中主要用于化學氣相淀積,形成各種不同的硅鍺合金用于電子元器件的制造。

      鍺烷是通式為GenH2n+2的一系列鍺與氫的化合物的總稱。一般來講鍺烷即指甲鍺烷,常溫下為有毒、易燃和無色的氣體,分子式GeH4。      鍺烷為無色、劇毒、可自燃、非腐蝕性氣體。熱穩定性差,160 ~ 180 ℃時鍺烷緩慢氧化,大約在280 ℃就能檢測到鍺烷分解為鍺和氫,在350 ℃鍺烷幾乎全部分解成單質鍺和氫氣; 鍺烷的自催化性很強,一旦分解形成了金屬覆蓋膜,就會急劇分解,故其分解爆炸危險性很高。鍺烷一般通過化學還原法、電化學反應法、等離子合成法合成,在半導體工業上有重要的用途。      鍺烷為劇毒、可分解爆炸物質,因此對整個生產工藝流程設備材質的選擇和處理方面有一定的難度,特別是對反應系統的密閉性和尾氣的處理更應該重視。要考慮減少廢水、廢氣排放量,并加強處理,含鍺烷的尾氣必須經過無害化處理,符合排放標準方能排放。
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